▪ 利用双镜头系统实现高产能 ▪ 可检测切割完成后的芯片 ▪ 切缝检测 ▪ 利用从相邻的4个晶粒中提取出一个最佳晶粒, 实现D2D高级算法 ▪ 内置验证检查模组 ▪ 自主研发的镜头,具有视野广,像素高的特点。 ▪ 采用实时自动对焦模组 ▪ 可选IR检测,裂缝及硅片内部碎片
- 裂纹检测 晶片变薄 & 切割领域检测
- 三维检测Bump