▪ 验证返工系统（VRS） :
 - 相机 : 彩色验证 1M 面扫描相机
 - 镜头 : 5X, 10X, 20X, 50X, 100X, 150X

  

▪ 自动对焦
 - 对焦传感器：ADS（ATI Depth Sensor）
 - 重复性：1um@3σ

▪ 功能
 - 自动对焦
 - 图像保存
 - CD测试
 - 自动形成 KLARF/ Map 文档