▪ LED 芯片检测 ▪ 利用线型扫描相机,实现高速/高精度检测。 ▪ 可检测巨型芯片,垂直型芯片 等 ▪ 检测项目 - Pad 缺陷,外延缺陷,Finger 缺陷,ITO 缺陷 - Mesa Line ,Double chip 等