▪ 纳米成像：100~700nm/pixel

  - 芯片图形检测
  - 芯片颗粒统计

 

▪ 微米成像：1~20㎛/pixel

  - 芯片图形检测
  - PCB检测

▪ 彩色检测：5~20 ㎛/pixel

  - PCB检测

▪ 利用ATI三角法检测Bump

▪ 利用白光干涉法检测TSV